壓力傳感器的重要傳感元件是法布利-比洛特(FP)型光學(xué)干涉儀。干涉儀的兩面鏡子分別是位于一端的薄膜內(nèi)表面和位于另一端的光纖尖端。所施加的壓力P 引起了薄膜的偏移，而此偏移又直接轉(zhuǎn)換成了FP 干涉儀空腔長度的變化。 8Rj5~+5  
=*\.zr  
為得到薄膜偏移和所施加的壓力間的線性關(guān)系，傳感器的形狀和材料都經(jīng)嚴(yán)格選擇。其系可表示為： U?0|2hR~  
sq'm)g  
Lcav(P) = L0 + (P-P0S)…………………………(1) MRLiiIrq,5  
jSem/;  
其中P是施加到薄膜外表面上的壓力(單位psi) U<j5s\Y,  
P0是FP空腔內(nèi)的壓力(單位psi) G8M~}I/)  
Lcav是由信號解調(diào)器所測得的空腔長度(單位nm) w5m/[Z  
L0是處于零點初始狀態(tài)的空腔長度(單位nm)，通常定義為P =P0 c 乐陵市| 邹城市| 前郭尔| 林周县| 循化| 华安县| 嵩明县| 高雄市| 琼海市| 定襄县| 大安市| 双城市| 台北县| 巨鹿县| 佳木斯市| 阳春市| 文安县| 施甸县| 绥中县| 馆陶县| 临猗县| 郯城县| 昭通市| 西安市| 通海县| 长子县| 北京市| 新巴尔虎左旗| 扬州市| 天祝| 阿荣旗| 七台河市| 班玛县| 南乐县| 睢宁县| 南宫市| 大足县| 七台河市| 白山市| 博兴县| 益阳市|