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隨著光刻分辨率的不斷提高，光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過(guò)程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。 ZG&>:Si;  
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與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機(jī)中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問(wèn)題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機(jī)中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類(lèi)：全折射型和折反射型。 "9Q40w\  
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全折射型投影物鏡是指只含有透鏡的投影物鏡，而折反射型投影物鏡則是同時(shí)含有透鏡和反射鏡的投影物鏡。 c$yk s  
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受限于EUV（極紫外光）使用的波長(zhǎng)為13.5nm，由于該波段的光幾乎沒(méi)有光學(xué)材料可以透過(guò)，因此為了使用更短的波長(zhǎng)，此類(lèi)光刻物鏡只能采用完全反射式進(jìn)行設(shè)計(jì)。 Vo'T!e- B  
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SYNOPSYS的自由曲面設(shè)計(jì)功能可以非常方便快捷地設(shè)計(jì)自由曲面反射式光學(xué)系統(tǒng)。 }*S `qW;B  
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只需要輸入每個(gè)反射鏡的初始位置、形狀，以及系統(tǒng)的物方參數(shù)和像方要求，此功能會(huì)自動(dòng)生成對(duì)應(yīng)的優(yōu)化文件和初始結(jié)構(gòu)。 #;2n;.a  
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宏文件和鏡頭文件可以評(píng)論區(qū)留言領(lǐng)取 |$ lM#Ua  
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得到優(yōu)化的宏文件可以評(píng)論區(qū)留言領(lǐng)取 IvtJ0  
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調(diào)整優(yōu)化宏，進(jìn)一步優(yōu)化反射鏡的形狀以達(dá)到更好的成像質(zhì)量。額外的質(zhì)量要求都可以在優(yōu)化文件內(nèi)按需要增加或調(diào)整。 fy@<&U5rg  
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對(duì)應(yīng)鏡頭文件可以評(píng)論區(qū)留言領(lǐng)取 TI,&!E?;  
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軟件自動(dòng)優(yōu)化功能，會(huì)自動(dòng)將反射鏡的位置優(yōu)化匹配到不會(huì)影響光線(xiàn)軌跡的情況。（對(duì)比圖可以看到，優(yōu)化后的結(jié)果和未優(yōu)化的效果圖）如上圖鏡頭文件的pad二維窗口顯示，光線(xiàn)在各個(gè)反射鏡之間傳遞，無(wú)任何光線(xiàn)軌跡被遮擋的情況。 NUWDc]@J*  
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