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    [討論]離子源充氧與充氬有何分別？ [復制鏈接]

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    離線wangxingyu
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-04-15
    離子源充氧與充氬有何分別？
     
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    離線j123456789
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-04-15
    離子源充氧后會產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強的活性，作為氧化物膜沉積時的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會降低離子源的壽命！！充氬僅能提高膜層的密度，同時離子源的壽命會相對長！
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    flyinlove79 光幣 +1 熱心助人，鼓勵！ 2013-02-02
    離線flyinlove79
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-04-16
    樓上的說的好
    離線jiayuch
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-04-22
    如果鍍得是氟化鎂  就用氬氣嗎
    離線yufe16
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2008-06-17
    氬氣流量大約是多少合適呢?高低折射率的材料用一樣的流量嗎？
    離線liwenjuan
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2008-06-18
    這個問題也是我一直思考的，好像是的純用氧氣的離子源鍍出的膜層是好點，壽命問題真的是要考慮的，廠家可能也是拿著這個結(jié)果來對我們說，而不會提到這個壽命的情況。 +Ofa#^5);K  
    我也發(fā)現(xiàn)這種柵極用幾次就會有損傷。 H:Y&OZ  
    9 I{/zKq  
    不同的材料肯定是不同，這個除了廠家會給一些參考，也要自己摸索了
    離線syw1984
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2008-06-28
    好像透過曲線有區(qū)別的
    離線yufe16
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2008-06-29
    使用離子源的話，對真空室溫度有什么要求嗎 》
    離線yufe16
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2008-06-29
    使用離子源對真空室溫度有什么要求嗎？
    離線拉比熊
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-01-13
    使用離子源對溫度沒有影響