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    [討論]離子源充氧與充氬有何分別？ [復(fù)制鏈接]

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    離線ken_jinyan1
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2013-01-28
    我們公司的GENER1300  配的是霍爾的離子源。廠家調(diào)試的時(shí)候用的是O2， Z+. '>  
    說的是氧氣和氬氣都是一樣的。  氧氣流量50， 氬氣流量30SCCM，我想問一下 (uZ&V7l  
    離子源對膜料折射率是否有影響。
    離線alex_xie
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2013-01-30
    使用氬氣，鍍出來的膜層致密性會好一點(diǎn)，可以氧氣氬氣一起用
    離線flyinlove79
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2013-02-02
    熱心助人，鼓勵！
    離線ken_jinyan1
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2013-02-19
    但是廠家的工程師和我說MGF2不能用離子源，不知道原因。 $r8 ^0ZRr  
    如果不能用的話，還怎么冷鍍膜呢？
    離線a060103112
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2013-02-27
    回 jiayuch 的帖子
    jiayuch:如果鍍得是氟化鎂  就用氬氣嗎 (2007-04-22 16:21)  wNtx]t_M  
    qY<'<T4\  
    氟化鎂一般不用離子源，只有偶爾冷鍍用，就只加少量氬氣
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2017-08-09
    回 j123456789 的帖子
    j123456789:離子源充氧后會產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強(qiáng)的活性，作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會降低離子源的壽命！！充氬僅能提高膜層的密度，同時(shí)離子源的壽命會相對長！ (2007-04-15 15:49)  w{uuSe  
    oiyzHx  
    好有用
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    只看該作者 16樓 發(fā)表于: 2017-08-09
    回 a060103112 的帖子
    a060103112:氟化鎂一般不用離子源，只有偶爾冷鍍用，就只加少量氬氣 (2013-02-27 11:32)  R:AA,^Z  
    ^/ =#UQ*k  
    原來是這樣呀
    離線pyykun
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    只看該作者 17樓 發(fā)表于: 2018-02-27
    謝謝大神們！！！
    離線dcfcwdx
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    只看該作者 18樓 發(fā)表于: 2018-03-03
    受教了
    離線yedewang
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    只看該作者 19樓 發(fā)表于: 2018-05-08
    非常有用
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