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    [求助]如何降低薄膜吸收? [復制鏈接]

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    離線guji2015
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-10-16
    關鍵詞: 膜層薄膜
    做的一個氧化鉿單層的材料實驗,開了離子源輔助,鍍出來發(fā)現膜層吸收較大。請教一下各位大佬,為降低吸收,工藝該從那些方面調整? u CXd% CzE  
    O?_'6T  
    \c)XN<HH  
     
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    離線度魔銀
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2024-10-16
    1.溫度是不是300度,離子源充氧過大也會吸收
    離線度魔銀
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2024-10-16
    離子源清洗,不開源鍍,基板加溫300℃-350℃,恒溫一小時鍍膜,材料充氧10sccm,此參數僅供參考
    離線度魔銀
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2024-10-16
    補充一下,速率控制在2.0A/左右
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2024-12-23
    增加氧氣 就可以了 _|F h^hq  
    離線hyf1
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 06-16
    觀摩學習
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