光行天下>光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備>如何降低薄膜吸收？

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[求助]如何降低薄膜吸收？ [復(fù)制鏈接]

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離線guji2015

實(shí)習(xí)生

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-10-16

關(guān)鍵詞：膜層薄膜

做的一個(gè)氧化鉿單層的材料實(shí)驗(yàn)，開(kāi)了離子源輔助，鍍出來(lái)發(fā)現(xiàn)膜層吸收較大。請(qǐng)教一下各位大佬，為降低吸收，工藝該從那些方面調(diào)整？

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離線hyf1

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 06-16

觀摩學(xué)習(xí)

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離線xiezhizhi

技術(shù)員

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2024-12-23

增加氧氣就可以了

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離線度魔銀

助理工程師

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2024-10-16

補(bǔ)充一下，速率控制在2.0A/左右

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離線度魔銀

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2024-10-16

離子源清洗，不開(kāi)源鍍，基板加溫300℃-350℃，恒溫一小時(shí)鍍膜，材料充氧10sccm,此參數(shù)僅供參考

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離線度魔銀

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2024-10-16

1.溫度是不是300度，離子源充氧過(guò)大也會(huì)吸收

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