近日，據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，上海中科飛測(cè)半導(dǎo)體科技有限公司取得一項(xiàng)名為“光學(xué)系統(tǒng)以及檢測(cè)設(shè)備”的專(zhuān)利，授權(quán)公告號(hào)CN 222105753 U，申請(qǐng)日期為2024年4月。

專(zhuān)利摘要顯示，一種光學(xué)系統(tǒng)以及檢測(cè)設(shè)備，涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，光學(xué)系統(tǒng)包括：光源模塊、至少兩個(gè)視場(chǎng)光闌以及驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件與每個(gè)視場(chǎng)光闌連接，每個(gè)視場(chǎng)光闌的孔徑大小均不相同；光源模塊被配置為提供照明光束；驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)視場(chǎng)光闌切入或切出光源模塊的出射光路，該視場(chǎng)光闌被配置為限制光源模塊提供的照明光束的光束尺寸。通過(guò)設(shè)置至少兩個(gè)視場(chǎng)光闌，可以根據(jù)需要檢測(cè)的結(jié)構(gòu)的尺寸，通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件將對(duì)應(yīng)的視場(chǎng)光闌切入光源模塊的輸出光路，實(shí)現(xiàn)對(duì)照明光束的尺寸調(diào)整，對(duì)最終的光斑大小進(jìn)行調(diào)整。

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