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    [論文]微光學機電系統(tǒng)的發(fā)展和應用 [復制鏈接]

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    離線hello2024
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-12-10
    關鍵詞： 微光學
    論述了微光學機電系統(tǒng)（MOEMS）的研究狀況和已研制的系統(tǒng)的結構工藝與工作原理，對其發(fā)展和應用前景進行討論。
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    cyqdesign 光幣 +5 - 2024-12-10
     
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