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[論文]微光學(xué)機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用 [復(fù)制鏈接]

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離線hello2024

助理工程師

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-12-10

關(guān)鍵詞：微光學(xué)

論述了微光學(xué)機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）的研究狀況和已研制的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)工藝與工作原理，對(duì)其發(fā)展和應(yīng)用前景進(jìn)行討論。

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2024-12-10

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