藍寶石元件加工之困:亞表面損傷(SSD)對高能激光系統(tǒng)的致命影響
引言 在萬瓦級光纖激光器的窗口鏡加工中,我們曾發(fā)現(xiàn)一個詭異現(xiàn)象:經(jīng)傳統(tǒng)研磨拋光的藍寶石元件,在實驗室檢測時面型精度達標(PV≤λ/10@1064nm),但裝機后運行不足50小時即出現(xiàn)微裂紋擴散,最終導致透鏡崩邊。經(jīng)FIB-SEM斷層分析,根源在于亞表面損傷層(SSD)的應(yīng)力累積。 SSD的形成機制
|
藍寶石元件加工之困:亞表面損傷(SSD)對高能激光系統(tǒng)的致命影響
引言 在萬瓦級光纖激光器的窗口鏡加工中,我們曾發(fā)現(xiàn)一個詭異現(xiàn)象:經(jīng)傳統(tǒng)研磨拋光的藍寶石元件,在實驗室檢測時面型精度達標(PV≤λ/10@1064nm),但裝機后運行不足50小時即出現(xiàn)微裂紋擴散,最終導致透鏡崩邊。經(jīng)FIB-SEM斷層分析,根源在于亞表面損傷層(SSD)的應(yīng)力累積。 SSD的形成機制
|