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藍寶石元件加工之困：亞表面損傷(SSD)對高能激光系統(tǒng)的致命影響 在萬瓦級光纖激光器的窗口鏡加工中，我們曾發(fā)現(xiàn)一個詭異現(xiàn)象：經(jīng)傳統(tǒng)研磨拋光的藍寶石元件，在實驗室檢測時面型精度達標（PV≤λ/10@1064nm），但裝機后運行不足50小時即出現(xiàn)微裂紋擴散，最終導(dǎo)致透鏡崩邊。經(jīng)FIB-SEM斷層分析，根源在于亞表面損傷層（SSD）的應(yīng)力累積。 SSD的形成機制
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藍寶石元件加工之困：亞表面損傷(SSD)對高能激光系統(tǒng)的致命影響在萬瓦級光纖激光器的窗口鏡加工中，我們曾發(fā)現(xiàn)一個詭異現(xiàn)象：經(jīng)傳統(tǒng)研磨拋光的藍寶石元件，在實驗室檢測時面型精度達標（PV≤λ/10@1064nm），但裝機后運行不足50小時即出現(xiàn)微裂紋擴散，最終導(dǎo)致透鏡崩邊。經(jīng)FIB-SEM斷層分析，根源在于亞表面損傷層（SSD）的應(yīng)力累積。 SSD的形成機制
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