WLO(晶圓級光學(xué))的各種工序。 )p$a1\~m  
首先，通過透鏡成型工藝(圖1)，在上下的模具(微透鏡陣列的模具)之間設(shè)置樹脂。 eWN[EJI<  
接著，通過固化工藝(圖2)，使樹脂通過熱固化或UV固化而固化。 ;p/
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接著，通過脫模工藝(圖3)，卸下模具，將作為固化樹脂的微透鏡陣列取出。這里，微透鏡陣列構(gòu)成微透鏡呈平面狀或二維狀展開的平面微光學(xué)元件。 }{R?i,j(  
接著，通過粘合工藝(圖4)，利用粘接劑將多個(兩片以上)的微透鏡陣列粘合，制作微透鏡陣列層疊體(參照圖5)。在該粘合工藝中，以往以點(diǎn)狀(spot)粘接方式進(jìn)行了粘合，但在本實(shí)用新型中，利用粘接片以面狀粘接方式進(jìn)行粘合。
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接著，通過切割裝置對微透鏡陣列層疊體實(shí)施切割工藝(圖5)，切分為每個透鏡的芯片狀的透鏡模塊。作為切割裝置，使用了利用激光實(shí)施切割的裝置或者利用刀片實(shí)施切割的裝置。將多種透鏡模塊粘合而形成透鏡層疊體，制作在透鏡層疊體的底部配置有圖像傳感器的相機(jī)型光學(xué)設(shè)備。

WLO，是英文Wafer Level Optics的縮寫，中文名稱為晶圓級光學(xué)元件，是一種晶圓級鏡頭制造技術(shù)，是通過晶圓封裝方式制造光學(xué)鏡頭，是半導(dǎo)體工藝與光學(xué)技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。 WLO制造方法是以整片玻璃晶圓為材料，采用半導(dǎo)體工藝，利用壓印光刻、UV固化方式，批量復(fù)制制作鏡頭，將多個鏡頭晶圓壓合在一起，再切割成為單顆鏡頭。 WLO具有尺寸小、高度低、一致性好等特點(diǎn)。

TSMCの個片レンズのデータと、ピンの図面ありませんか