近日，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，浙江同越光學科技有限公司取得一項名為“一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀”的專利，授權(quán)公告號CN119104151B，申請日期為2024年9月。

據(jù)專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀，包括激光等離子體光源和承載機構(gòu)，所述承載機構(gòu)包括軸心在同一直線上的光源腔和收集腔，所述光源腔通過第一連接管與所述收集腔連通，所述光源腔上表面設(shè)置有分光原件，所述收集腔上表面設(shè)置有非周期Al/Zr多層膜球面反射鏡，所述光源腔另一側(cè)通過第二連接管連接有CCD傳感器，所述CCD傳感器與所述分光原件之間位于所述第二連接管上設(shè)置有雜散光抑制機構(gòu)。本發(fā)明采用上述的一種緊湊型極紫外寬帶光譜儀，在保證光譜分辨率和透射效率的同時避免了使用反射式光柵造成的額外空間需求和引入額外像差，提升了光譜分辨率。

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