近日，浙江大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院/海寧國(guó)際聯(lián)合學(xué)院狄大衛(wèi)教授和趙保丹研究員團(tuán)隊(duì)，成功研發(fā)出微米和納米鈣鈦礦LED，其降尺寸過程僅造成微弱的性能損耗。其中，最小尺寸僅為90納米的納米鈣鈦礦LED，為迄今為止公開報(bào)道的最小LED像素。相關(guān)研究論文發(fā)表在國(guó)際期刊《自然》上。

狄大衛(wèi)介紹，目前世界最先進(jìn)的顯示技術(shù)是基于Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體的微型發(fā)光二極管，可實(shí)現(xiàn)超高清、超高精度的光電顯示。但受限于復(fù)雜的工藝技術(shù)，微型發(fā)光二極管制造成本極高，當(dāng)像素尺寸減小到約10微米或更小時(shí)，效率會(huì)急劇下降。

從Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體的微型發(fā)光二極管的微型化研究中獲得啟發(fā)，狄大衛(wèi)團(tuán)隊(duì)開始研制用于未來(lái)顯示技術(shù)的更小的鈣鈦礦LED，于2021年首次提出“微型鈣鈦礦LED”概念，并獲得國(guó)家與國(guó)際專利。

用傳統(tǒng)光刻工藝制造微型鈣鈦礦LED會(huì)破壞鈣鈦礦材料。為此，研究團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)出一套局域接觸工藝，通過光刻制作的圖案化窗口確保像素區(qū)域遠(yuǎn)離電極邊緣，能夠制造像素尺寸從數(shù)百微米到90納米的鈣鈦礦LED，同時(shí)保證了LED的發(fā)光效率。

據(jù)悉，微米和納米鈣鈦礦LED在AR/VR顯示等領(lǐng)域具有巨大應(yīng)用潛力。