我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器深紫外(DUV)激光器憑借其高光子能量和短波長特性,在半導體光刻、高分辨率光譜學、精密材料加工和量子技術等領域發(fā)揮著關鍵作用。與準分子激光器或氣體放電激光器相比,這類激光器具有更高的相干性和更低的功耗,為系統(tǒng)小型化發(fā)展提供了可能。 據(jù)《Advanced Photonics Nexus》報道,中國科學院研究團隊取得重要突破,成功研制出可產(chǎn)生193納米相干光的緊湊型全固態(tài)激光系統(tǒng)。該波長對于光刻工藝至關重要,該工藝通過在硅晶圓上蝕刻復雜電路圖案,構成了現(xiàn)代電子設備的制造基礎。 實驗裝置 該新型激光系統(tǒng)工作重復頻率為6千赫茲,采用自主研發(fā)的摻鐿釔鋁石榴石(Yb:YAG)晶體放大器產(chǎn)生1030納米基頻光。 激光器輸出分為兩路:一路通過四次諧波轉換生成258納米紫外光(輸出功率1.2瓦),另一路驅動光學參量放大器產(chǎn)生1553納米激光(功率700毫瓦)。 隨后,這兩束光經(jīng)級聯(lián)LBO(三硼酸鋰,LiB3O5)晶體進行混頻,最終獲得平均功率70毫瓦、線寬小于880兆赫的193納米深紫外激光輸出。 研究團隊創(chuàng)新性地在混頻前對1553納米光束加載螺旋相位板,成功獲得了攜帶軌道角動量的渦旋光束。這標志著國際上首次實現(xiàn)固態(tài)激光器直接輸出193納米渦旋光束。 該突破性成果不僅為混合型ArF準分子激光器提供了新型種子光源,更在晶圓加工、缺陷檢測、量子通信和光學微操控等領域展現(xiàn)出重要應用前景。 這項創(chuàng)新激光技術不僅提升了半導體光刻的效率和精度,更為先進制造技術開辟了新路徑。 193納米渦旋光束的成功產(chǎn)生,或將引發(fā)電子器件制造領域的革命性變革,推動相關技術取得突破性進展。 相關鏈接:https://dx.doi.org/10.1117/1.APN.4.2.026011 |
最新評論

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jabil 2025-03-24 00:54Very good technology

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tassy 2025-03-24 01:49憑借其高光子能量和短波長特在半導體光刻領域發(fā)揮著關鍵作用。

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phisfor 2025-03-24 06:55我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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redplum 2025-03-24 06:59我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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likaihit 2025-03-24 07:01我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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jefen3 2025-03-24 08:42
phisfor 2025-03-24 06:55
我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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宿命233 2025-03-24 08:46我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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北極星的天空 2025-03-24 08:50我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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liulin666 2025-03-24 09:09我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器

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祖?zhèn)骼现嗅t(yī) 2025-03-24 09:13我國成功研制出全球首臺193納米緊湊型固態(tài)激光器




