光行天下>激光與光通信技術(shù)>去下載《紫外激光切割Si片的實(shí)驗(yàn)研究》

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-06-15

紫外激光切割Si片的實(shí)驗(yàn)研究，樓祺洪章琳葉震寰董景星魏運(yùn)榮

中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所

摘要：報(bào)道了用193nm準(zhǔn)分子激光切割硅片的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。采用柱透鏡光學(xué)系統(tǒng)及“熱劈裂法”獲得小于15μm的切縫及小于5μm的切面不平整度。

關(guān)鍵詞：紫外激光；激光切割；硅片

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工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2007-06-17

多謝啦，不錯(cuò)的論文。

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助理工程師

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謝謝啦，下了。

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助理工程師

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2007-06-17

收下了，多謝。

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2009-08-05

多謝啦，不錯(cuò)的論文。

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實(shí)習(xí)生

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2009-08-13

收下了，多謝。

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實(shí)習(xí)生

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2010-05-04

fghfghfhfghfh

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離線(xiàn)lw890720

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2010-07-02

多謝樓主

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離線(xiàn)khwonthy

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2010-07-18

謝謝樓主。想學(xué)習(xí)一下。

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離線(xiàn)唐亮

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2010-07-20

多謝樓主

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