傳統(tǒng)單一測(cè)量設(shè)備要么精度不足，要么無(wú)法兼顧復(fù)雜結(jié)構(gòu)。而SuperView WT3000白光干涉儀+共聚焦顯微鏡雙模式融合，納米級(jí)難題迎刃而解！

1、白光干涉模式利用白光干涉原理，實(shí)現(xiàn)從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測(cè)量，可測(cè)量0.1nm及以下的粗糙度和納米級(jí)的臺(tái)階高度。

2、共聚焦模式以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，具備銳角度測(cè)量能力，可測(cè)量?jī)A角接近90°的微觀形貌。

描述:復(fù)合式光學(xué)3D輪廓儀

圖片:圖片1.jpg

復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀將這兩者的優(yōu)勢(shì)融合，實(shí)現(xiàn)了 “1 + 1> 2” 的效果：

1、白光干涉模式：納米級(jí)“溫柔掃描”  

不傷表面：非接觸測(cè)量，連脆弱納米材料都能“輕撫”檢測(cè)。  

超高精度：粗糙度測(cè)量精度達(dá)0.005nm，相當(dāng)于頭發(fā)絲的十萬(wàn)分之一！  

適用場(chǎng)景：芯片硅片超光滑表面、光學(xué)鏡片曲率測(cè)量，分分鐘出結(jié)果。  

2、共聚焦顯微鏡模式：復(fù)雜結(jié)構(gòu)“透視眼”  

死角全滅：大角度、深槽結(jié)構(gòu)（如芯片引腳）3D成像無(wú)壓力。  

動(dòng)態(tài)追蹤：實(shí)時(shí)觀察材料變化，定位鏡片內(nèi)部缺陷。

這種根據(jù)不同測(cè)量場(chǎng)景和樣品特性，靈活切換測(cè)量模式的能力，拓展了儀器的適用范圍，為各行業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)提供了全方位的測(cè)量支持。

以前測(cè)一個(gè)芯片要換兩臺(tái)設(shè)備，現(xiàn)在一臺(tái)復(fù)合式光學(xué)3D輪廓儀十分鐘搞定！你的行業(yè)是否面臨納米級(jí)測(cè)量難題？歡迎留言討論。