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這是一個(gè)簡單的二維光柵的例子，具有雙重周期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個(gè)不同的菱形(平行六面體)，位于襯底上，被背景材料包圍。我們選擇了一個(gè)直角線單元晶胞(最小原始單元格)來避免結(jié)構(gòu)的計(jì)算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形)，玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 }|f\'S :0ND0A{K: 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度 :j$K. 3n S偏振光照明的場矢量 E*Vx^k$
l ,)l"6OV P偏振光照明的場矢量 +AyQ4Q(-o
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級次的振幅。 { np KdX
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