這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維光柵的例子，具有雙重周期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個(gè)不同的菱形(平行六面體)，位于襯底上，被背景材料包圍。我們選擇了一個(gè)直角線單元晶胞(最小原始單元格)來(lái)避免結(jié)構(gòu)的計(jì)算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形)，玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 7u6o~( VtUe$ft 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度 ;RflzY|D S偏振光照明的場(chǎng)矢量 U,LW(wueT
<h4"^9 hL P偏振光照明的場(chǎng)矢量 2xhwi.u
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 VJDF/)X3$
