隨著無線通信技術(shù)的發(fā)展，太赫茲波因超寬帶、高定向性和高分辨率等優(yōu)勢，成為6G通信的重要頻譜資源。然而，頻率升高帶來的路徑損耗加劇和信號源輸出功率降低等問題，使系統(tǒng)對高精度、低損耗、大視場的波束控制器件提出嚴(yán)苛要求。

中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所秦華團隊提出并研制了基于氮化鎵肖特基二極管（GaN SBD）的無源太赫茲相控陣芯片原型，其工作頻率為0.32 THz，陣列規(guī)模為32×25。這一芯片利用GaN SBD的高速變?nèi)萏匦詫崿F(xiàn)陣列天線諧振模式的動態(tài)調(diào)控，支持模擬和數(shù)字調(diào)相兩種工作模式。在0至210°的連續(xù)相位調(diào)節(jié)范圍內(nèi)，平均插入損耗為5 dB，調(diào)制速率超過200 MHz，平均相位調(diào)節(jié)誤差為1.8°。

進一步，針對現(xiàn)有GaN晶圓材料的非均勻性和SBD工藝偏差導(dǎo)致陣元間相位調(diào)節(jié)存在偏差的問題，該團隊提出了基于差分進化的控制策略，使主瓣增益提升了4.2 dB，并有效抑制了旁瓣水平。在±45°掃描范圍內(nèi)，波束增益為18 dBi。基于該芯片，團隊演示驗證了目標(biāo)的跟蹤定位和信號的定向傳輸?shù)裙δ堋?/p>

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圖1.基于GaN SBD的無源太赫茲相控陣芯片

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圖2. (a)芯片的相位調(diào)制精度測量結(jié)果，(b)遠(yuǎn)場方向圖

研究結(jié)果以“A GaN Schottky Barrier Diode-Based Terahertz Metasurface for High-Precision Phase Control and High-Speed Beam Scanning”為題發(fā)表在 Advanced Materials 。論文第一作者為博士研究生于潤，通訊作者為秦華研究員。該研究工作得到了國家自然科學(xué)基金項目、江蘇省基礎(chǔ)研究計劃、蘇州市科技計劃項目、中國科學(xué)院青促會項目和國家重點研發(fā)計劃等資助支持。

蘇州納米所秦華團隊長期專注于氮化鎵基太赫茲器件研究，此前團隊已成功研制出多頻段太赫茲單元和陣列探測器模塊，本項研究工作為6G“通感一體化”的氮化鎵基太赫茲器件解決方案提供了新思路。

論文鏈接：https://doi.org/10.1002/adma.202507534