近幾年國內(nèi)興起來很多鍍膜機(jī)制造廠家，老牌的國外鍍膜機(jī)廠家日漸衰微。  ]A;zY%>  
國外廠家以前值得夸耀的離子源系統(tǒng)和光控系統(tǒng)國內(nèi)也基本攻克了，也就是穩(wěn)定性上有點(diǎn)優(yōu)勢(shì)。 6:i(<7  
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國內(nèi)鍍膜機(jī)上常見的離子源應(yīng)該是霍爾源和射頻源。 v&}mbt-  
這兩種源都利用了磁場(chǎng)--電子在磁場(chǎng)做圓周（螺旋）運(yùn)動(dòng)， i(q%E
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從而增加了電子在空間的行程，增加了和工作氣體碰撞的幾率。 ]}/LNO*L"  
不同的是霍爾源一般是永磁鐵，磁場(chǎng)沒有變化； "}PaMR]  
而射頻源是震蕩磁場(chǎng)，磁場(chǎng)會(huì)周期變化，電子也會(huì)周期振蕩。 4/S% eZB  
霍爾源一般沒有柵極，所以離子的能量（電壓）比較小，但是數(shù)量（電流）可以很大； clQN@1] M  
射頻源有柵極，所以離子能量（電壓）可以加的很高，但是數(shù)量（電流）有限制。 >
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一般鍍膜時(shí)候離子電壓在1kv水平就夠了； EfY|S3Av  
離子能量增大到10kv水平，這個(gè)能量能把基材表面的顆粒打飛，一般用于離子濺射； 8W?/Sg`  
離子能量加大到幾百萬電子伏特時(shí)，能把離子直接打進(jìn)基材里面，這個(gè)就用在離子注入機(jī)上。 h?2qX  
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射頻源的難點(diǎn)在于柵網(wǎng)和射頻匹配， (3C6'Wt  
柵網(wǎng)受熱會(huì)膨脹變形，而柵網(wǎng)之間通常離得很近，受熱變形后就容易接觸打火。 8D eRs#  
新的柵網(wǎng)還好說，隨著柵網(wǎng)越用越薄，變形的幾率就越來越大。 2<Pi2s'  
進(jìn)口柵網(wǎng)一般是整塊鉬塊掏制的，就是為了克服受熱變形。 ))}w;w  
用鉬板旋壓則制作成本較低，但是變形量比掏制的要大很多。 f>
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射頻匹配就是調(diào)整可變電容來匹配射頻震蕩回路，使得反射電流最小化。 |`9POl=  
一般只要接觸良好，線圈不發(fā)生變形，LC震蕩回路的匹配值只和真空度和氣體有關(guān)， Ip]-OVg  
離子源本體因?yàn)闀?huì)要切換氣體（一般是Ar和O2），所以必須自動(dòng)匹配， pR2QS
 
中和器只用Ar，所以匹配好了基本上不會(huì)變化。 d?_Bll"  
如果發(fā)生反射很高的情況，要么就是接觸產(chǎn)生問題了，要么就是線圈變形了， #_{3W-35*  
或者就是哪里對(duì)地短路了。

那如果射頻離子源報(bào)加速電流異常一般是什么原因造成的？柵網(wǎng)也沒有發(fā)現(xiàn)有破損或掉渣，但是柵網(wǎng)中間部分會(huì)有局部出現(xiàn)與其它地方不一致顏色的扭曲線條，像個(gè)W uWR\#D'  

是哪家的離子源，不同廠家的離子源加速極位置不一樣。 #(-V^T  
有照片最好發(fā)一下，有可能是打火。 +N2?fgA  
柵網(wǎng)之間位置過近或者孔位偏差會(huì)造成打火。 t_c;4iE  
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有可能是沒裝好，也有可能是本身柵網(wǎng)的問題。

學(xué)習(xí)了。之前有個(gè)一直反射電流高，后面就是換了那個(gè)電容才OK。今天看了這個(gè)好像明白了一點(diǎn)。謝謝分享。

ouyuu:是哪家的離子源，不同廠家的離子源加速極位置不一樣。 P3C|DO4  
有照片最好發(fā)一下，有可能是打火。 <X~ X#9V  
柵網(wǎng)之間位置過近或者孔位偏差會(huì)造成打火。
有可能是沒裝好，也有可能是本身柵網(wǎng)的問題。 (2025-08-23 17:57)  lx,^Y647  

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沒有拍照，網(wǎng)子已經(jīng)打磨了

鍍紅外膜用霍爾源是比射頻源更好嗎？我們用霍爾源鍍紅外膜料，怕膜料氧化，離子源充氣都是氬氣，結(jié)果氣體分配片消耗好大，感覺氣體分配片的金屬都鍍到膜里面去了，氣體分配片用不了40小時(shí)就穿孔了，這個(gè)該怎么去設(shè)置氣體？是不是還是要充一些氧或者改用特殊材質(zhì)的氣體分配片，現(xiàn)在用的氣體分配片是不銹鋼的

quan6658:鍍紅外膜用霍爾源是比射頻源更好嗎？我們用霍爾源鍍紅外膜料，怕膜料氧化，離子源充氣都是氬氣，結(jié)果氣體分配片消耗好大，感覺氣體分配片的金屬都鍍到膜里面去了，氣體分配片用不了40小時(shí)就穿孔了，這個(gè)該怎么去設(shè)置氣體？是不是還是要充一些氧或者改用特殊材質(zhì)的氣體分配片，現(xiàn)在 .. (2025-08-30 16:44)  -ZqN~5>j)  

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射頻源因?yàn)殡x子速度高（加速電壓高），所以對(duì)折射率的提高比較大， >i=^Mh-bm  
也就是說折射率的穩(wěn)定性來講，射頻源不如霍爾源。（因?yàn)榛魻栐刺岣卟欢啵?span style="display:none"> bAv>?Xqa  
紅外膜因?yàn)楹穸却螅�如果沒有直控的話，確實(shí)霍爾源要比射頻源更容易控制。 m5Gt8Z 6a  
因?yàn)檎凵渎蕘碇v霍爾源更穩(wěn)定。 }.w@. S"  
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紅外膜料是硫化鋅嗎？硫化鋅只能用氬氣。 ;,GE!9HW  
氣體分配片你可以選用一些高熔點(diǎn)的金屬做，不過成本會(huì)很高。 hp?hb-4l  
比如說鎢、鉬、石墨……

ouyuu:射頻源因?yàn)殡x子速度高（加速電壓高），所以對(duì)折射率的提高比較大， !ckm
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也就是說折射率的穩(wěn)定性來講，射頻源不如霍爾源。（因?yàn)榛魻栐刺岣卟欢啵?span style="display:none"> qTFktJZw  
紅外膜因?yàn)楹穸却螅�如果沒有直控的話，確實(shí)霍爾源要比射頻源更容易控制。 ]
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因?yàn)檎凵渎蕘碇v霍爾源更穩(wěn)定。 )Cl!, 彭山县| 秀山| 安仁县| 莒南县| 巴南区| 陇南市| 通海县| 常山县| 顺平县| 东源县| 青岛市| 琼结县| 越西县| 宁明县| 奇台县| 英吉沙县| 田林县| 商丘市| 酒泉市| 海阳市| 会昌县| 馆陶县| 普洱| 麦盖提县| 全州县| 钟山县| 昭平县| 邛崃市| 桂阳县| 新平| 西安市| 阿瓦提县| 新安县| 怀仁县| 天等县| 南召县| 祁门县| 白玉县| 乐业县| 宜兴市| 钦州市|