近幾年國內(nèi)興起來很多
鍍膜機(jī)制造廠家，老牌的國外鍍膜機(jī)廠家日漸衰微。
#+" D? 國外廠家以前值得夸耀的離子源
系統(tǒng)和光控系統(tǒng)國內(nèi)也基本攻克了，也就是穩(wěn)定性上有點(diǎn)優(yōu)勢。
=Ldf#8J 'd QGb-<_< 國內(nèi)鍍膜機(jī)上常見的離子源應(yīng)該是霍爾源和射頻源。
yoq-H+< 這兩種源都利用了磁場--電子在磁場做圓周（螺旋）運(yùn)動(dòng)，
AxJqLSfyb, 從而增加了
電子在空間的行程，增加了和工作氣體碰撞的幾率。
~Odclrs 不同的是霍爾源一般是永磁鐵，磁場沒有變化；
hP [/x e 而射頻源是震蕩磁場，磁場會(huì)周期變化，電子也會(huì)周期振蕩。
;gJAxVD< 霍爾源一般沒有柵極，所以離子的能量（電壓）比較小，但是數(shù)量（電流）可以很大；
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