這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 May&@x/oMS  
w=f0*$ue+w  
光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側以193 nm波長垂直入射的結構內的近場強度。 "wA0 LH_  
R*s* +I  
傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 9pWi.J  
NH'1rt(w  
參數掃描 NTqo`VWe  
+"]oc{W!  
Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對入射角度的掃描。  MKU7fFN.  
c]A Y  
它會生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級的強度： m)s xotgXf  
\Ut6;  
在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。