1. 摘要 inO)Y]|f
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在最近的幾十年里,COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時,這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。 D6cqON0a. [,A*nU$ 2. 建模任務(wù) `Sh#>
Jp Wn61;kV_) 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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mmE!!J`B Q-scL>IkCb 6. 3D仿真與結(jié)果對比 Lye^G%{
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