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摘要 o`7Bvh2 -Y{P"!p0 像光柵這樣的光學(xué)設(shè)備對光的偏振比較敏感。 因此,在仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實際中,光柵有時會以非偏振光作為輸入。 作為兩個正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 6I"Q9( IA!( 'Ks
Kr!8H/Z A2!7a}*1( 光柵仿真中的非偏振光 @u#Tx% •光柵分析 Pqi>,c<&mL −對于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計算 L@XhgQ 例如:作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 Jn-iIl hU@9vU<U •非偏振平面波 C|8.$s< −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時間可以處于任何偏振態(tài)。 Y]Td+Zi −任意偏振態(tài)可以沿兩個正交基底投影,并且統(tǒng)計上,非偏振光沿兩個正交基底給出相等的投影。 !0{":4\ −因此,我們可以使用兩個正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。 w-pdpbHV }hv>LL
Vnlns2pQl ]N,n7v+} 光柵仿真中的光源設(shè)置 7'k+/rAO •手動控制光源偏振態(tài) lZ'-?xo −在VirtualLab Fusion中,光始終以矢量形式表示,并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。 E80C0Q+V −按照基本概念,可以根據(jù)非偏振光的需要,以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如,通過選擇TE和TM偏振作為兩個正交基,分別執(zhí)行光柵仿真,然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結(jié)果。 _0<qS{RW FT!|YJz<K
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~2 LSS3(l[,: 光柵仿真中的偏振相關(guān)分析器 Zqc+PO3lw •光柵偏振分析器 Ol"*(ea-TX −為計算光柵衍射效率,VirtualLab Fusion提供了偏振分析器,用于研究偏振相關(guān)效應(yīng)。 8xW_N"P.> −偏振分析器,例如:光柵級次分析器對入射的偏振態(tài)具有額外控制。 J*IC&jH: −偏振分析器中的偏振設(shè)置獨立于光學(xué)裝置中的光源設(shè)置。 !7]4sXL{ -L}crQl.'c
Y1vl,Yi nJ<h}*[ 實例1:使用非偏振紫外光的Talbot圖像 LxC*{t/>8 |f#~#Y2v 建模任務(wù) g-q~0 VQI OQIQ CA, &R<] 查看完全版應(yīng)用使用案例 RoFy2A=_ >vF=}1_L 在特定位置檢測的場 %}t.+z(S hosw
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