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- 注冊時間2020-06-19
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作為最著名的衍射效應之一，泰伯(Talbot)效應可以用于光刻技術中以制造周期性納米結構。繼I.-H. Lee等人，我們在六邊形網(wǎng)格上構造了一個圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。 特別是，由于光刻過程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們在示例中演示了如何為VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。 omu )s
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i U"2uLgb 圓錐形相位掩模的Talbot圖像 }ebu@)r
>}H3V ] 在VirtualLab Fusion中對帶有圓錐體的相位掩模版進行了建模。檢測到不同的Talbot圖像，以使柱形圖案位于主像平面中，而孔圖案出現(xiàn)在次像平面中。 yt+d
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jC p^CNbA 用于光柵仿真的非偏振光–實例討論 Wd >gOE
Ci9]#)"c 示范了在VirtualLab Fusion的光柵仿真建模中，如何以兩個正交偏振態(tài)的平均值建模非偏振光的影響。 8{4SaT.-Rm )`5=6i
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