LED外延片--襯底材料 9~af\G  
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襯底材料是半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石。不同的襯底材料，需要不同的外延生長(zhǎng)技術(shù)、芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù)，襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線(xiàn)。襯底材料的選擇主要取決于以下九個(gè)方面： T}On:*&  
• [1]結(jié)構(gòu)特性好，外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度小； 6u8fF|s  
• [2]界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性強(qiáng)； D(GHkS*0q  
• [3]化學(xué)穩(wěn)定性好，在外延生長(zhǎng)的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕； . 2Q/D?a  
• [4]熱學(xué)性能好，包括導(dǎo)熱性好和熱失配度小； p0@mumh
 
• [5]導(dǎo)電性好，能制成上下結(jié)構(gòu)； Y5pNKL
 
• [6]光學(xué)性能好，制作的器件所發(fā)出的光被襯底吸收小； t)+dW~g  
• [7]機(jī)械性能好，器件容易加工，包括減薄、拋光和切割等； hidweg*7  
• [8]價(jià)格低廉； j3F=P  
• [9]大尺寸，一般要求直徑不小于2英吋。 (J#3+I  
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　　襯底的選擇要同時(shí)滿(mǎn)足以上九個(gè)方面是非常困難的。所以，目前只能通過(guò)外延生長(zhǎng)技術(shù)的變更和器件加工工藝的調(diào)整來(lái)適應(yīng)不同襯底上的半導(dǎo)體發(fā)光器件的研發(fā)和生產(chǎn)。用于氮化鎵研究的襯底材料比較多，但是能用于生產(chǎn)的襯底目前只有二種，即藍(lán)寶石Al2O3和碳化硅SiC襯底。表2-4對(duì)五種用于氮化鎵生長(zhǎng)的襯底材料性能的優(yōu)劣進(jìn)行了定性比較。 351'l7F\  
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