一.
薄膜設(shè)計(jì)中數(shù)理概念的引入
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Jx }wjw:M 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)的重大變革:Philip Baumeister于1958年提出將設(shè)計(jì)問題轉(zhuǎn)換為優(yōu)化問題來考慮。
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}KN7 fZzoAzfv2 而優(yōu)化問題則由一系列設(shè)計(jì)
參數(shù)(通常為層厚度)構(gòu)成的評(píng)價(jià)函數(shù)來表達(dá),使評(píng)價(jià)函數(shù)最小化則為膜系設(shè)計(jì)的目標(biāo)。
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`$<.pOm [M}{G5U. 二.針式算法的引入及其數(shù)理思想:
S6M}WR^, mPK:R^RjG& 對(duì)于一膜系設(shè)計(jì),已完成優(yōu)化后,則層數(shù)和厚度已固定。若仍沒有達(dá)到預(yù)計(jì)設(shè)計(jì)目標(biāo)(即評(píng)價(jià)函數(shù)并不是足夠小),此時(shí)一般優(yōu)化方法難以再進(jìn)一步進(jìn)行優(yōu)化(此時(shí)再優(yōu)化還是會(huì)返回原優(yōu)化狀態(tài))。針式優(yōu)化則通過在膜系中插入一薄層(針式層)來改變層數(shù),從而達(dá)到進(jìn)一步優(yōu)化的目的。
4 Y9`IgQ /P3 <"?#k 莫斯科大學(xué)的亞歷山大教授于1982年發(fā)明了針式優(yōu)化技術(shù),這一核心技術(shù)使得
Optilayer運(yùn)算速度比同時(shí)期的任何一款設(shè)計(jì)軟件都要快數(shù)百倍。
H8zK$! IH&|Tcf\ 下圖中圖1為一優(yōu)化后的三層膜的折射率剖面圖,其用一般優(yōu)化已無法再進(jìn)一步進(jìn)行優(yōu)化。故而通過插入一針式層來優(yōu)化,如圖2所示:
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_LUhZlw 圖1. z方向?yàn)楹穸龋琻(z)為折射率。
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UiP"Ixg6 圖2. 在薄膜中某一厚度位置插入一折射率為n的狹長薄膜層。
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82qoGSD. 上圖中最左側(cè)為基底折射率,最右側(cè)為入射媒介,兩陰影區(qū)為針式變量(needle varition)。
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9A 物理上引入針式層后,數(shù)學(xué)上必然會(huì)引起評(píng)價(jià)函數(shù)值的變化。通過利用評(píng)價(jià)函數(shù)對(duì)新層厚度求偏導(dǎo),考察當(dāng)針式變量發(fā)生于多層膜內(nèi)z點(diǎn)處且新層折射率為

時(shí)(見圖2),評(píng)價(jià)函數(shù)(merit function)的變化為:
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