一、OptiLayer 模塊 H0D>A<Ue  
[p( #WM:  
OptiLayer 模塊的功能同大多數(shù)軟件差不多，不同處在于：1.能解決其它軟件不能再優(yōu)化的問題；2.運(yùn)算速度快，比同時期的同類軟件快數(shù)百倍。其具體原因可參考針式算法專題。 YA^wUx  
1c<CEq:?e%  
二、OptiChar模塊 bMqu5G_q  

zbIwH6  
OptiChar模塊主要通過鍍膜材料實(shí)測光學(xué)特性參數(shù)(某波段范圍內(nèi)的反射率和透過率曲線)給出一評估曲線，再通過在某一基底下，考察給定薄膜理論中一些因素(厚度、折射率、消光系數(shù)和不均一性)時，擬合出在當(dāng)前考察因素下，最接近鍍膜材料實(shí)測出的光譜特性評估曲線的層材料光譜特性曲線，進(jìn)而給出此時的層材料模型(包含層材料的厚度、折射率、消光系數(shù)和不均一性)。擬合得越好則給出的層材料模型越接近當(dāng)前鍍膜條件下的實(shí)際情況。 c{m ;"ZCFS  
NgE&KPj\  
且在考察和不考察某一因素時，如果擬合狀況無多大變化，則說明當(dāng)前考察的光學(xué)特性(反射或透過)對該因素不敏感。即該因素對當(dāng)前考察的光學(xué)特性無多大影響。因而再利用該層材料作設(shè)計(jì)且為當(dāng)前考察的光學(xué)特性時，可以忽略該因素的影響而不去考慮它。 5I8FD".i  
s%L" c  
如上表即薄膜理論中最重要的一些因素：不均一性、消光系數(shù)和表面粗糙度對某一層材料實(shí)際測得的光譜特性(反射和透過)的影響程度。由上表我們可知在利用該層材料模型做設(shè)計(jì)時，若設(shè)計(jì)只考慮反射時，則該三因素中只需考慮不均一性；同理若設(shè)計(jì)只考慮透過時，則該三因素中需考慮不均一性和消光系數(shù)。 S1H47<)UF  
Kh:#S|
  
I |<+'G  
三、OptiRE模塊 7U{b+=,wK  
)F%wwc^r  
    OptiRE這一模塊為工程反演，其主要目的為向生產(chǎn)過程提供一個回饋。 rx}ujjx  
-~<q,p"e  
    OptiRE中采用一差異函數(shù)比較設(shè)計(jì)模型光譜特性和生產(chǎn)后薄膜實(shí)驗(yàn)測得的光譜特性， OptiRE的工程反演運(yùn)算法則是基于使該差異函數(shù)值最小。（OptiLay模塊的優(yōu)化設(shè)計(jì)則是優(yōu)化比較理論和目標(biāo)光譜特性的評價函數(shù)值） &m%Pr  
FfD ,cDs  
    為提高生產(chǎn)質(zhì)量，我們需要消除或者使誤差最小。在OptiRE中我們考察兩類生產(chǎn)誤差：系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差。 LRCS)UBY(.  
U<gUX07  
    系統(tǒng)誤差是那些在下一次沉積或加工時還會發(fā)生的誤差。系統(tǒng)誤差通過工程反演知道并能通過采用具有更精確刻度的監(jiān)測裝置；而由工程反演得出的隨機(jī)誤差信息能被用來研究生產(chǎn)誤差產(chǎn)生的原因。 |z(Ws  
M 黑山县| 磐石市| 年辖：市辖区| 延边| 兴化市| 江陵县| 昂仁县| 峡江县| 成都市| 瑞金市| 九江县| 达孜县| 阜阳市| 潼南县| 隆子县| 桐庐县| 隆子县| 全南县| 台前县| 调兵山市| 孝感市| 临泽县| 益阳市| 汉阴县| 米脂县| 科尔| 孟村| 达孜县| 乌苏市| 黑龙江省| 织金县| 玉龙| 双城市| 珠海市| 霍城县| 宁夏| 宝清县| 吉首市| 韩城市| 秀山| 赞皇县|