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光學(xué)輪廓儀

發(fā)布:universalpei 2010-04-26 15:42 閱讀:2652
美國(guó)NANOVEA公司的三維非接觸式表面形貌儀 三維光學(xué)輪廓儀(3D Profiling) zrVC8Wb  
*5<Sr q'  
該儀器采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測(cè)量,測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,臺(tái)階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案 qyHZ M}/  
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這款產(chǎn)品憑借其當(dāng)今世界最前端的技術(shù),迅速占領(lǐng)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng), S osj$9E  
產(chǎn)品特性: !ZDzEP*  
1  采用白光軸向色像差技術(shù),可獲得納米級(jí)的分辨率 qo)?8kx>l  
2  測(cè)量具有非破壞性,測(cè)量速度快,精確度高 R:p62c;Tv0  
3  測(cè)量范圍廣,可測(cè)透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…); @|a>&~xX  
4  尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面 (;VVC Aoy  
5  不受樣品反射率的影響 ,]}?.g  
6  不受環(huán)境光的影響 E,n}HiAz7V  
7  測(cè)量簡(jiǎn)單,樣品無(wú)需特殊處理 K/ &?VIi`z  
8  Z方向最大測(cè)量范圍為27mm }HEvr)v9  
B*htN  
美國(guó)NANOVEA公司是一家全球公認(rèn)的在微納米尺度上的光學(xué)表面輪廓測(cè)量技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者,生產(chǎn)的光學(xué)輪廓儀是目前國(guó)際上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域最先進(jìn)表面輪廓測(cè)量設(shè)備,該公司在光學(xué)設(shè)計(jì)、精密機(jī)械和科學(xué)軟件算法方面,擁有長(zhǎng)期不斷發(fā)展的專利技術(shù),由于這些專門(mén)技術(shù)的應(yīng)用,NANOVEA為生產(chǎn)和質(zhì)量控制的研究和發(fā)展提供精密準(zhǔn)確的全方位解決方案。 I ];M7  
NANOVEA的表面測(cè)量系統(tǒng)適用于研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程控制中的定性和定量測(cè)量,其核心部件達(dá)到納米尺度的創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計(jì),其強(qiáng)大且友好的軟件控制使所需獲得的數(shù)據(jù)不僅速度快,而且精度高,并提供了多種不同的表面分析方法,與系統(tǒng)匹配的軟件包含參數(shù)設(shè)定(如掃描尺寸、線數(shù)、步進(jìn)、轉(zhuǎn)換臺(tái)速度、數(shù)據(jù)采樣速度)和數(shù)據(jù)后處理功能(如Abbott-Firestone曲線、快速傅立葉變換、自相關(guān)功能、三維成像、二維切片成像等) ,可以定量地測(cè)量表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等,并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積等參數(shù)。 W4;m H}#0  
垂直測(cè)量范圍:27mm Y32O-I!9u  
垂直分辨率:<2nm "^I mb,  
掃描速度 1m/s k`".  
橫向分辨率:5nm Gu=STb  
可視區(qū)域: 400*600mm J8y0d1SG  
Iqs+r?  
環(huán)球(香港)科技有限公司 mj?16\|]  
裴之利 15801657153
關(guān)鍵詞: 輪廓儀
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最新評(píng)論

山光一粟 2012-03-17 01:55
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