光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。 e(7F| G*  
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 ;WX)g&19x  
1.腔室內(nèi)部防護(hù)板 J@RhbsZn  
周期：每月清理一次 Mx<V;GPm  
先對防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲物柜以備下次更換。 -V@vY42  
2.離子源清洗 p9w<|ZQ]:  
周期：50~100小時(shí) J6Uo+0S  
A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機(jī)說明書） dL%?k@R  
B.各個(gè)零件進(jìn)行噴砂，其中： FoY_5/  
柵網(wǎng)、石英杯噴砂壓力應(yīng)小于0.15MPa，砂子為粒度#100的Al粒子，操作距離30cm以上 QixEMX4<  
C超聲清洗，丙酮、酒精各一次 Hts.G~~8  
D.N2吹干，壓力在0.05-0.1MPa之間 S]3K5Z|  
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分鐘 v%O KOrJ  
3.真空計(jì)清理 Zt:.+.dV  
周期：六個(gè)月清理一次 ql,k 文昌市| 藁城市| 西城区| 东乡族自治县| 汉寿县| 乐平市| 封丘县| 巴南区| 桐城市| 龙门县| 余江县| 灯塔市| 盐山县| 金华市| 长治市| 敖汉旗| 无棣县| 东海县| 新民市| 太谷县| 垣曲县| 衡阳县| 锦州市| 榕江县| 通道| 繁峙县| 邯郸市| 承德市| 宜丰县| 台北市| 乌苏市| 鹤山市| 科技| 卓尼县| 顺平县| 纳雍县| 上高县| 博兴县| 周宁县| 阳东县| 彰化市|