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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-03-29

關(guān)鍵詞：光學(xué)鍍膜機維護

光學(xué)鍍膜機的維護包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理
1.腔室內(nèi)部防護板
周期：每月清理一次
先對防護板進行更換，將污染的防護板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲物柜以備下次更換。
2.離子源清洗
周期：50~100小時
A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機說明書）


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