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    [下載]平面磁控濺射靶磁場(chǎng)的計(jì)算 [復(fù)制鏈接]

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    離線chenchao
     
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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-12-18
    平面磁控濺射磁場(chǎng)的計(jì)算摘要:精確分析磁控靶的磁場(chǎng)對(duì)優(yōu)化磁控靶的設(shè)計(jì)非常重要。本文采用有限元法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場(chǎng)分布 ,理論計(jì)算的結(jié)果與特斯拉計(jì)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量相符 ,通過(guò)對(duì)比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場(chǎng) ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴(kuò)展靶表面徑向磁場(chǎng)區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強(qiáng)磁芯上方徑向磁場(chǎng)。 t-_~jZ<  
    P)x&9OHV  
    關(guān)鍵詞:磁控濺射;磁場(chǎng);有限元法
    附件: 平面磁控濺射靶磁場(chǎng)的計(jì)算.rar (393 K) 下載次數(shù):50 ,售價(jià):2光幣[記錄](méi)
     
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 06-03
    來(lái)看那困難
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 05-21
    學(xué)習(xí)一下
    離線cwl563590
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2024-09-08
    好東西,感謝樓主
    離線tny520
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2022-08-22
    學(xué)習(xí)一下
    離線曹英朝
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2020-06-06
    tks!look look
    離線18073266662
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-05-27
    看看學(xué)學(xué)一下
    離線18073266662
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-05-27
    VB和分隔符
    離線hunter999
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-06-21
    xiexie fenxiang
    離線大敏哥
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2017-12-26
    學(xué)習(xí)一下,很少見(jiàn)得資料 Tr@|QNu  
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