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    [下載]平面磁控濺射靶磁場的計算 [復(fù)制鏈接]

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    離線chenchao
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-12-18
    關(guān)鍵詞： 磁控濺射磁場有限元
    平面磁控濺射靶磁場的計算摘要：精確分析磁控靶的磁場對優(yōu)化磁控靶的設(shè)計非常重要。本文采用有限元法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場分布 ,理論計算的結(jié)果與特斯拉計的實驗測量相符 ,通過對比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場 ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴展靶表面徑向磁場區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強磁芯上方徑向磁場。 U^8S@#1Q  
    b|e1HCH  
    關(guān)鍵詞：磁控濺射；磁場；有限元法
    附件: 平面磁控濺射靶磁場的計算.rar (393 K) 下載次數(shù):50 ，售價:2光幣[記錄]
     
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    離線maf999
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2012-06-11
    又要錢
    離線maf999
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2012-06-11
    不能免費嗎
    離線ggtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-06-17
    謝謝。
    離線scenery
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-08-03
    好貼！！！！！！！！！
    離線大敏哥
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2017-12-26
    學(xué)習(xí)一下，很少見得資料 d$ n31F  
    離線hunter999
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-06-21
    xiexie fenxiang
    離線18073266662
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-05-27
    VB和分隔符
    離線18073266662
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2020-05-27
    看看學(xué)學(xué)一下
    離線曹英朝
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2020-06-06
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