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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2012-07-12

關(guān)鍵詞： LED 芯片流程

LED制作流程分為兩大部分。首先在襯低上制作氮化鎵（GaN）基的外延片，這個過程主要是在金屬有機化學(xué)氣相沉積外延爐中完成的。準備好制作 GaN 基外延片所需的材料源和各種高純的氣體之后，按照工藝的要求就可以逐步把外延片做好。常用的襯底主要有藍寶石、碳化硅和硅襯底，還有 GaAs、AlN、ZnO 等材料。MOCVD 是利用氣相反應(yīng)物（前驅(qū)物）及Ⅲ族的有機金屬和Ⅴ族的 NH3 在襯底表面進行反應(yīng)，將所需的產(chǎn)物沉積在襯底表面。通過控制溫度、壓力、反應(yīng)物濃度和種類比例，從而控制鍍膜成分、晶相等品質(zhì)。 MOCVD
外延爐是制作 LED外延片最常用的設(shè)備。


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