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    [其它]非接觸式鏡面定位儀 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-03-28
    非接觸式鏡面定位儀目前已廣泛應用于光學裝配中,具有精度高,不損傷樣品的特點,儀器簡介如下: oRl@AhS  
    cqb]LC  
    工作原理 Q8bn|#`  
       非接觸式鏡面定位儀的光學原理,為采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀,并且參考鏡位置可以精確移動,當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時,才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動,就可以測量被測鏡的位置。 原理圖如下: 2spK#0n.HV  
    uF]+i^+  
    W