非接觸式鏡面定位儀目前已廣泛應用于
光學裝配中，具有精度高，不損傷樣品的特點，儀器簡介如下：
/4 vG3 k[HAkB \{ 工作
原理：
qeL5D* 非接觸式鏡面定位儀的光學原理，為采用了短相干
光源的邁克爾遜干涉儀，并且參考鏡位置可以精確移動，當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動，就可以測量被測鏡的位置。 原理圖如下：
1. rj' m"o ;L3 
Qt/ 8r*Oe }w1~K'ck}> 工作過程:
uwjGDw Source(短相干光源)發(fā)出短相干
光束, 經(jīng)Coupler（耦合器）分束成兩束光，這兩束光分別通過Collimators（準直儀）聚焦到Measurement arm(測量臂) 和Reference arm(參考臂)上，在測量臂段，光束經(jīng)待測物前后兩表面反射產(chǎn)生R1和R2兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的scan mirror(可掃描的參考鏡) 反射。各反射光束經(jīng)光學
光纖返回到Coupler中，此時掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號經(jīng)Photodiode(
光電二級管)轉(zhuǎn)換為電信號再由顯示儀顯示。
測量方法:
rxy&spX 通過調(diào)節(jié)掃描參考鏡在延遲光路上的位置，調(diào)出兩干涉信號分別出現(xiàn)極大值的兩個位置，此兩極值位置所對應的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測物品的光學厚度。而其實際厚度則為光學厚度除以其折射率。
/ig:9R 考慮到光源的短相干特性，非接觸式鏡面定位儀在應用中有以下特征需要注意：
69J4=5lX (1) 采用短相干光源，且滿足相干長度小于待測物品的光學厚度的兩倍，從而使得反射光束R1和R2相互不能發(fā)生干涉；
OnK~3j (2) 掃描參考鏡的反射光與反射光束R1(或R2)的光程差小于短相干光源相干長度時，才能發(fā)生干涉并產(chǎn)生相干信號。且光程差為零時，干涉信號才出現(xiàn)極大值，故兩極值位置所對應的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測物品的光學厚度。
!kE-_dY6) (3) 掃描參考鏡在延遲光路上的測試精度有兩種等級： a.采用光柵尺測量(1μm)；b.采用
激光測距 (150nm)。
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