非接觸式鏡面定位儀目前已廣泛應(yīng)用于
光學(xué)裝配中，具有精度高，不損傷樣品的特點(diǎn)，儀器簡(jiǎn)介如下：
'A@qg^e:` 6[+\CS7Lt 工作
原理：
KjF Z 非接觸式鏡面定位儀的光學(xué)原理，為采用了短相干
光源的邁克爾遜干涉儀，并且參考鏡位置可以精確移動(dòng)，當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過(guò)監(jiān)控參考鏡的移動(dòng)，就可以測(cè)量被測(cè)鏡的位置。 原理圖如下：
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935-{ h@k $i ,6B9 工作過(guò)程:
22)0zY%\ Source(短相干光源)發(fā)出短相干
光束, 經(jīng)Coupler（耦合器）分束成兩束光，這兩束光分別通過(guò)Collimators（準(zhǔn)直儀）聚焦到Measurement arm(測(cè)量臂) 和Reference arm(參考臂)上，在測(cè)量臂段，光束經(jīng)待測(cè)物前后兩表面反射產(chǎn)生R1和R2兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的scan mirror(可掃描的參考鏡) 反射。各反射光束經(jīng)光學(xué)
光纖返回到Coupler中，此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)Photodiode(
光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。
測(cè)量方法:
XGE
2J 通過(guò)調(diào)節(jié)掃描參考鏡在延遲光路上的位置，調(diào)出兩干涉信號(hào)分別出現(xiàn)極大值的兩個(gè)位置，此兩極值位置所對(duì)應(yīng)的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測(cè)物品的光學(xué)厚度。而其實(shí)際厚度則為光學(xué)厚度除以其折射率。
8%;}LK 考慮到光源的短相干特性，非接觸式鏡面定位儀在應(yīng)用中有以下特征需要注意：
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