光行天下>光學(xué)設(shè)計及經(jīng)驗(yàn)>光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計

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離線hhxxgg00

論壇版主

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2013-04-02

隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設(shè)備-光刻機(jī)。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機(jī)因其技術(shù)成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點(diǎn)的優(yōu)勢已成為目前光刻領(lǐng)域的主流設(shè)備。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分，其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計為研究方向，對照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計與仿真研究。

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長光機(jī)博士論文

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這個時代，每個人都在大聲說話，每個人都在爭分奪秒。我們用最快的速度站上高度。但是也在瞬間失去態(tài)度。當(dāng)喇叭聲遮蓋了引擎聲，我們早已忘記，謙謙之道才是君子之道。你問我這個時代需要什么，在別人喧囂的時候安靜，在眾人安靜的時候發(fā)聲。不喧嘩，自有聲。

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離線xingyu4153

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2013-04-02

長光機(jī)博士論文

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離線drymatini

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好資料！

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離線moth

助理工程師

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看看看················

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離線姜守望

實(shí)習(xí)生

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頂一下，……

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離線yu-xuegang

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離線tmdapple123

助理工程師

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2013-04-02

光幾所！哎

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離線maiwudi

高級工程師

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2013-04-02

看看啦

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離線ciomp1312

實(shí)習(xí)生

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長光機(jī)博士論文

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離線光學(xué)行當(dāng)

技術(shù)員

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2013-04-04

看一看

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