4D動態(tài)干涉儀原理 ;Y#~2eYCz  
4D動態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時間域相移轉換為空間域相移，并采用其獨創(chuàng)的相位相關的CCD技術，使得一個CCD幀頻內(nèi)就可實現(xiàn)全分辨的測量。其原理圖如下圖所示： MV5'&" ,oB  
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光源發(fā)出的激光經(jīng)過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過光學系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板（見下圖）進入CCD. }zi:nSpON  
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    掩模板（定向微偏振片陣列）的單元結構與CCD的像元一一對應相關. 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個單元后會發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對每一組像元進行相移干涉計算, 就可以獲得整個樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計算時可以重復利用相鄰像元，從而實現(xiàn)全分辨的測量。 ,{A-<=6t  
•   4D 動態(tài)干涉儀的優(yōu)點及其應用： s8.O 高雄市| 普格县| 河南省| 商水县| 凤冈县| 淅川县| 石家庄市| 贡嘎县| 铜梁县| 西乌| 登封市| 从江县| 双江| 同心县| 融水| 枝江市| 区。| 蕲春县| 高平市| 汉沽区| 昭苏县| 枣庄市| 齐齐哈尔市| 嵊州市| 定州市| 凌源市| 常州市| 清徐县| 府谷县| 琼结县| 墨竹工卡县| 项城市| 高唐县| 左云县| 财经| 玉屏| 巴中市| 太谷县| 时尚| 阿图什市| 晴隆县|