電調(diào)可變光衰減器（EVOA）是解決DWDM光纖通信網(wǎng)中信道均衡問題的主要途徑之一，而隨著光纖通信由點(diǎn)到點(diǎn)傳輸向動(dòng)態(tài)光網(wǎng)絡(luò)的升級(jí)，對(duì)EVOA的市場(chǎng)需求日益增長(zhǎng)。EVOA主要集成在模塊或者子系統(tǒng)中，比如基于TFF濾波片的傳統(tǒng)DWDM模塊，被要求加入VOA實(shí)現(xiàn)信道的動(dòng)態(tài)均衡；基于PLC技術(shù)的AWG，也以AWG+VOA模塊的形式出現(xiàn)；在ROADM子系統(tǒng)中，VOA更是不可或缺。 2GmpCy`L"  
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       基于MEMS技術(shù)的VOA是EVOA的主要解決方案之一，具有體積小、功耗低的優(yōu)勢(shì)。MEMS VOA通過靜電或者電磁力驅(qū)動(dòng)一個(gè)扭轉(zhuǎn)反射鏡，使入射光束偏轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)衰減。通常以一個(gè)雙光纖準(zhǔn)直器與MEMS芯片進(jìn)行耦合，實(shí)現(xiàn)緊湊的封裝結(jié)構(gòu)。然而MEMS VOA設(shè)計(jì)中的關(guān)鍵問題之一是波長(zhǎng)相關(guān)性（WDL），雙光纖準(zhǔn)直器通過反射鏡的耦合，相當(dāng)于兩個(gè)準(zhǔn)直器之間在角度失配情況下的耦合，其WDL隨失配角度增 大而劣化。一個(gè)未進(jìn)行WDL優(yōu)化設(shè)計(jì)的MEMS VOA，當(dāng)中心波長(zhǎng)衰減25dB時(shí)，在40nm帶寬內(nèi)的WDL達(dá)1.8dB。為了便于對(duì)WDL進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，一般采用C-Lens制作雙光纖 準(zhǔn)直器，比GRIN-Lens具有更好的設(shè)計(jì)靈活性，經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的MEMS VOA，在40dB衰減范圍內(nèi)的WDL，可以達(dá)到0.4dB以下。當(dāng)然，MEMS VOA也有單通道應(yīng)用情況，對(duì)WDL就沒有那么高的要求了。 &F$:Q:* *  
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       MEMS VOA設(shè)計(jì)中的關(guān)鍵問題之二是可靠性，支撐反射鏡的扭轉(zhuǎn)梁應(yīng)具有適當(dāng)?shù)膹椥韵禂?shù)，以保證能在適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)電壓（靜電驅(qū)動(dòng)）或者驅(qū)動(dòng)電流（電磁驅(qū)動(dòng)）下偏轉(zhuǎn)足 夠的角度，同時(shí)必須有足夠的強(qiáng)度以抗擊震動(dòng)。而且，扭鏡結(jié)構(gòu)的共振頻率設(shè)計(jì)，應(yīng)遠(yuǎn)離日常環(huán)境中的振動(dòng)頻率以避免共振損害，一般設(shè)計(jì)在千赫茲以上。 ~:Uwg+]j  
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