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morningtech:對(duì)于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 4iW2hV@m 正常流量情況下, *[n^6) 冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 wv-8\)oA 冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。....... (2014-02-13 18:59) $0t %}DE
sgh920:請(qǐng)問多少度以下是溫度過低 (2014-02-18 12:58) d}Om?kn