我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶，用間控光控控制，晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波長在1071nm,半波帶寬20nm。 N AY3.e  
本來是成熟膜系，已經(jīng)做了有2年時(shí)間了，一直很穩(wěn)定， wW)(mY?   
但是最近出現(xiàn)膜系無規(guī)律漂移現(xiàn)象，中心波長或漂移向長波，或短波，漂移距離從4--20nm。 (y.
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本來出現(xiàn)漂移也是正常現(xiàn)象，但是現(xiàn)在是完全無規(guī)律啊，有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的，也有可能是每罩次都不一樣。 {CBb^BP  
最開始懷疑是單色儀出問題，也就是控制波長不準(zhǔn)確。送廠檢測，用廠家來替換的單色儀做了幾次，還是一樣。 $S?gQN.e  
廠家說可能 是光控托盤有問題，換了一個(gè)，還是一樣。   P3|s}&  
其后還做了很多工作，都沒有解決問題， Z10}xqi!X  
在這里請教各位同行，誰做窄帶，或者用光馳機(jī)器出現(xiàn)這種情況的是什么原因，怎么解決的？ ZM v\j|{8  
先謝過啦。

這個(gè)原因太多了，你先要確定你鍍膜滴標(biāo)準(zhǔn)要是一致滴，如果你確定你幾沒問題，你可以在沒鍍一傘前把你監(jiān)控片，和監(jiān)控器確認(rèn)一下等，如果有需要可以我愿意和您一起探討解決。

那你的膜料的質(zhì)量怎樣？純度、顆粒度等是不是和原來的那種膜料一樣？

dumoty:要是蒸鍍過程沒有問題，看下供電穩(wěn)定不，冷卻水是否有問題。我遇到過冷卻水臟了，導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定 (2015-04-13 13:28)  d%'#-w'  

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哦？這個(gè)倒是沒考慮過，但我們冷卻水是定期換的啊

要是蒸鍍過程沒有問題，看下供電穩(wěn)定不，冷卻水是否有問題。我遇到過冷卻水臟了，導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定