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    [討論]窄帶濾光片無(wú)規(guī)律漂移現(xiàn)象 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-04-13
    我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波長(zhǎng)在1071nm,半波帶寬20nm。 AB'+6QU9k  
    本來(lái)是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時(shí)間了,一直很穩(wěn)定, d <}'eBT'  
    但是最近出現(xiàn)膜系無(wú)規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長(zhǎng)或漂移向長(zhǎng)波,或短波,漂移距離從4--20nm。 zG#5lzIu,  
    本來(lái)出現(xiàn)漂移也是正常現(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無(wú)規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒(méi)有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。 ^[7Mp  
    最開始懷疑是單色儀出問(wèn)題,也就是控制波長(zhǎng)不準(zhǔn)確。送廠檢測(cè),用廠家來(lái)替換的單色儀做了幾次,還是一樣。 btuG%D{a^  
    廠家說(shuō)可能 是光控托盤有問(wèn)題,換了一個(gè),還是一樣。 'IX1WS&\"  
    其后還做了很多工作,都沒(méi)有解決問(wèn)題, &#2&V>pE  
    在這里請(qǐng)教各位同行,誰(shuí)做窄帶,或者用光馳機(jī)器出現(xiàn)這種情況的是什么原因,怎么解決的? eL SzGbKf  
    先謝過(guò)啦。
     
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    離線dumoty
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2015-04-13
    要是蒸鍍過(guò)程沒(méi)有問(wèn)題,看下供電穩(wěn)定不,冷卻水是否有問(wèn)題。我遇到過(guò)冷卻水臟了,導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2015-04-14
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:要是蒸鍍過(guò)程沒(méi)有問(wèn)題,看下供電穩(wěn)定不,冷卻水是否有問(wèn)題。我遇到過(guò)冷卻水臟了,導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定 (2015-04-13 13:28)   _<S!tW  
    !zE{`H a~  
    哦?這個(gè)倒是沒(méi)考慮過(guò),但我們冷卻水是定期換的啊
    離線meron
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2015-05-06
    那你的膜料的質(zhì)量怎樣?純度、顆粒度等是不是和原來(lái)的那種膜料一樣?
    離線op1163
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2015-10-11
    這個(gè)原因太多了,你先要確定你鍍膜滴標(biāo)準(zhǔn)要是一致滴,如果你確定你幾沒(méi)問(wèn)題,你可以在沒(méi)鍍一傘前把你監(jiān)控片,和監(jiān)控器確認(rèn)一下等,如果有需要可以我愿意和您一起探討解決。
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