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  工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍
幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍：
旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴(kuò)散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa
  幾種常用真空泵的工作原理
l        旋片機(jī)械泵
工作過程是：吸氣—壓縮—排氣。
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。
主要參量是：抽速和極限壓強(qiáng)。
由于極限壓強(qiáng)較高，常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。


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