現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個過程中溫度未超過50℃。 0,wmEV!)  
求大神指點，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！ ~iJ@x;`  
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描述:膜裂+脫膜

圖片:膜裂.jpg

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描述:脫膜

圖片:脫膜.jpg

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不用離子源嗎？用了離子源后50度咋可能控制在50度？除非設(shè)置離子源的功率特小，要不離子源的溫升效果也很明顯呀

離子源的功率較低，所以整個鍍膜過程中溫升不明顯。

鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。

膜層與基底結(jié)合力不夠

dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  oVY_|UujG  

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請問鍍膜前怎么清洗，嘗試過用酒精，不行！ r;GAQH}j_  
謝謝！

woshiyiyun:膜層與基底結(jié)合力不夠 (2015-08-30 17:46)  rmPJid[8B~  

#=#bv`  
是的，附著力不行。現(xiàn)在的問題就是如何提高結(jié)合力，不知您有沒有好的建議？ 0iVeM!bM  
謝謝！

dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  `9nk{!X\  

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退火處理？因為PMMA基板不耐高溫，退貨處理意義不大吧？ 2]+f<Z[/  
有點兒不太明白，能否詳細說一下？ 'v_k#%  
謝謝！

應(yīng)該不可以用酒精擦吧？ ShJBOaE; -  
超聲波清洗，走中性或堿性洗劑。 WJii0+8e  
用60-70度恒溫箱退火，去硬力很必要的步驟。

現(xiàn)在解決了嗎？如果沒有可聯(lián)系我 QQ2860598589