本例以正弦光柵為例介紹光柵面并非理想情況時(shí)的模擬。因?yàn)閷?shí)際加工原因，光柵面并不一定是我們期望的理想光柵面。對(duì)于正弦光柵，變很可能不是理想正弦型，而是在正弦基礎(chǔ)上出現(xiàn)隨機(jī)的起伏，這會(huì)對(duì)衍射情形帶來(lái)什么影響？我們把這個(gè)隨機(jī)的粗糙面疊加在光柵面上來(lái)模擬，引入這個(gè)糙面時(shí)可以通過(guò)特征尺寸和調(diào)制深度來(lái)表達(dá)。特征尺寸與橫向的光柵周期相對(duì)應(yīng)，表達(dá)起伏快慢，特征尺寸越小，起伏越劇烈，越大，則越平緩。而調(diào)制深度則與縱向的光柵調(diào)制深度對(duì)應(yīng)，表達(dá)起伏的幅度。并使用parameter run來(lái)考察衍射效率隨特征尺寸和調(diào)制深度的變化情況。在特征尺寸變化時(shí)，會(huì)導(dǎo)致衍射級(jí)次的變化，在某個(gè)特征尺寸時(shí)，零級(jí)能量會(huì)降到最低，但仍然是一個(gè)較大的數(shù)值。然而衍射情形隨調(diào)制深度的變化則很靈敏，在調(diào)制深度為0時(shí)，與理想的正弦光柵衍射情況接近，能量主要分布在零級(jí)和±1級(jí)上，高階衍射級(jí)次能量很小。隨著調(diào)制深度的增加，零級(jí)能量會(huì)被衍射至高級(jí)次，從而零級(jí)能量降低，±1級(jí)則能量增加，更高級(jí)次能量也相應(yīng)增加。
