光行天下>光學鏡頭設(shè)計>大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計

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離線寒夜

高級工程師

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關(guān)鍵詞：口徑精度干涉儀

大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計.PDF，需要的下載！

摘要：設(shè)計了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡，其犉數(shù)為0.82，參考面半徑為224.99mm。所設(shè)計的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ，均方根值為0.028λ，透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對面形檢測精度的影響，其最大值為0.29nm。利用Zemax光學設(shè)計軟件對參考鏡進行了仿真分析，仿真與實驗結(jié)果表明，該標準鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測需求。

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離線200833

科學家

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謝謝提供，下來學習一下。

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離線superyu2009

高級工程師

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謝謝樓主學習一下

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離線zhao6116713

實習生

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看看，學習一下

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離線礪劍158

助理工程師

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看下，學習下

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離線hytc42

技術(shù)員

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謝謝，
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離線a578981085

實習生

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2016-03-14

學習學習

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離線jsmcu

助理工程師

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2016-03-14

仔細看看先

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離線measure123

工程師

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2016-03-14

學習學習,謝謝分享

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離線ds1234567

助理工程師

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2016-03-14

謝謝， awB1ryrOF 參考下

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