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    [分享]一種便攜式光學表面輪廓儀 [復制鏈接]

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    離線ttb2016
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-06-02
    關鍵詞： 光學輪廓儀
    一種便攜式光學表面輪廓儀，需要的下載。 z<u@::  
    `r+`vJ$  
    摘要：研究了一種基于短相干光相移干涉法的便攜式光學表面輪廓儀，分析了短相干光干涉顯微鏡相移干涉技術，實現(xiàn)了基于該項技術的光干涉顯微系統(tǒng)。采用光路集成化的設計方法，實現(xiàn)了一體化輪廓儀光路集成，優(yōu)化了機械三維調整測量臺，實現(xiàn)了可用于大、小口徑元件表面測量的正置、倒置兩種測量模式。測試結果表明，儀器的粗糙度測量精度為0.1 nm，重復性誤差優(yōu)于0.01 nm，橫向分辨率優(yōu)于1μm。
    附件: 一種便攜式光學表面輪廓儀.rar (3614 K) 下載次數(shù):59 ，售價:2光幣[記錄]
    共1條評分 ，光幣+10
    cyqdesign 光幣 +10 - 2016-06-02
     
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    在線jsdyf
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-08-31
    好資料，下載學習下
    離線liqiuguo
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-05-24
    真是太感謝了真是太感謝了
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-09-27
    先下后看，怎么不能出一個預覽功能啊
    離線lqqmuc2009
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2021-05-28
    需要中
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