一種便攜式光學(xué)表面輪廓儀，需要的下載。 }}$@Tij19[  
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摘要：研究了一種基于短相干光相移干涉法的便攜式光學(xué)表面輪廓儀，分析了短相干光干涉顯微鏡相移干涉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了基于該項(xiàng)技術(shù)的光干涉顯微系統(tǒng)。采用光路集成化的設(shè)計(jì)方法，實(shí)現(xiàn)了一體化輪廓儀光路集成，優(yōu)化了機(jī)械三維調(diào)整測(cè)量臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了可用于大、小口徑元件表面測(cè)量的正置、倒置兩種測(cè)量模式。測(cè)試結(jié)果表明，儀器的粗糙度測(cè)量精度為0.1 nm，重復(fù)性誤差優(yōu)于0.01 nm，橫向分辨率優(yōu)于1μm。

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